Vakuum-Tribometer

Das MVT-2 Multifunktionales Vakuum-Tribometer

Messen Sie tribologische Kenngrößen im Vakuum über einen breiten Last- und Geschwindigkeitsbereich. Von kryogenen Bedingungen bis hin zu Hochtemperaturtests auf ein und derselben Plattform.

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Vakuum-Tribometer

Überblick

Merkmale

  • 10-7 Torr Vakuum 
  • mN bis 200 N Reibung- und Normalkraft
  • Kryogene Kühlung von -150 °C
  • Austauschbare Module für Tribologie-, Härte- und Ritzprüfungen
  • Lineare oder rotierende Bewegung 
  • Temperaturbereich bis zu 400 °C (1000°C) 

Warum Vakuumtribologie? – Fortschritte in den Bereichen Luft- und Raumfahrt, Halbleiter- sowie Dünnschichttechnologie haben zu mehreren Aufgabenfeldern geführt, die sich mit den Eigenschaften von Materialien und Beschichtungen unter Vakuumbedingungen befassen. Reibung, Verschleiß und Haftung von Oberflächen unter Vakuumbedingungen unterscheiden sich erheblich von denen unter Umgebungsbedingungen an Luft. Um vakuumkompatible Komponenten und Materialien der nächsten Generation zu entwickeln, ist es notwendig, diese unter Bedingungen zu testen, die den realen Anwendungsbedingungen im Vakuum nahekommen.

Das Rtec-Vakuumtribometer MVT-2 verfügt über einen großen Kraft-, Geschwindigkeits- und Temperaturbereich für die Analyse von Materialeigenschaften unter Vakuumbedingungen. Das einzigartige Design mit patentierten Kraftsensoren liefert Daten mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das offene Frontdesign ermöglicht einen einfache Zugänglichen zum Kammerinnern und beim Wechseln der Proben. Führen Sie mehrere gängige Reibungs-, Schmier- und Verschleißtests, wie Stift-Scheibe-, Kugel-auf-Scheibe- und lineare Hin- und Herbewegungen auf derselben Plattform durch. Das einzigartige Design ermöglicht die Durchführung von Härte-, Ritz- und Tribologietests auf derselben Plattform. Die Vakuumkammer ist in verschiedenen Standardkonfigurationen erhältlich. Bitte kontaktieren Sie uns, um Ihre Anwendung zu erörtern.

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    in einem Vakuumtribometer

    Merkmale des Vakuumtribometers

    Das Vakuum-Tribometer verfügt über mehrere wichtige Konstruktionsmerkmale, die es zum einem einzigarten, kommerziell erhältlichen Tribometer machen, das unter denselben Umgebungsbedingungen eine Vielzahl von Beanspruchungsbedingungen ausführen kann.
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    Patentierter Kraftsensor
    Kapazitive Sensoren arbeiten über einen weiten Vakuumbereich ohne Drift oder Ausgasung.
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    Regelung von kryogen bis zur Hochtemperatur
    Temperaturregler mit geschlossenem Regelkreis. Kryogene Stickstoffkühlkammer bis -150 °C. Standard-Heizkammer bis 400 °C oder Hochleistungs-Heizkammer bis 1000 °C im Vakuum.
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    Regelung von Kräften im geschlossenem Regelkreis
    Echtzeit-Kraftregelung mit geschlossenem Regelkreis während des Tests. Dadurch können automatisch Reibungs-Last- und Geschwindigkeitskurven erstellt werden.
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    Schnelles Erreichen des Vakuums
    Erreichen Sie ein Vakuum von 10-7 Torr in 45 Minuten. Das Vakuum-Tribometer verfügt über integrierte Vorvakuum- und Turbomolekularpumpen.
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    Rotations- und Linearer-Modus
    Rotationsgeschwindigkeit bis zu 5000 U/min, Lineargeschwindigkeit bis zu 6 mm/s. Zusätzliche Piezoantriebe für präzise Bewegungen vorhanden.
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    Mehrere Anwendungsmodule
    Die Konfiguration ermöglicht Ritz-, Härte- und Tribologietests auf derselben Plattform.

    Kontrolle der Umgebungsbedingungen

    Unübertroffene Wägezellentechnologie

    Kapazitiver Kraftsensor

    Das Vakuum-Tribometer MVT-2 ist mit einem patentierten mehrachsigen, kapazitiven Kraftsensor ausgestattet. Die einzigartige Sensortechnologie bietet eine unvergleichliche Meßstabilität und Auflösung. Der mögliche Lastbereich reicht von mN bis 200 N.
    Höchste Auflösung
    Hohe Auflösung zur Erkennung geringfügiger Änderungen im Versuchsverlauf
    Hohe Stabilität
    Vernachlässigbare Abweichungen über lange Laufzeiten und unter vielfältigen Testbedingungen
    Hohe Zuverlässigkeit
    Kalibriert mit rückverfolgbaren Standards
    Rtec Instruments Vakuum-kapazitiver Kraftsensor für den MVT-2 Vakuum-Tribometer

    Breiter Testbereich

    Das Vakuum-Tribometer von Rtec ist in mehreren anwendungsspezifischen Konfigurationen erhältlich.

    Versuchsergebnisse im Vakuum

    Test daten von dem Vakuum-Tribometer: Stift-auf-Scheibe Tribometer
    Die Darstellung gibt den Verlauf der Reibungszahl über der Prüftemperatur im Vakuum wieder. Zwei verschiedene Oberflächenbehandlungen wurden verglichen.
    Probe 1 – Plasmaoxid-Behandlung.
    Probe 2 – Siliziumoxid-Behandlung.

    • 10 N Normalkraft
    • Geschwindigkeit 4 mm/s
    • Beschleunigung von 0,1 mm/s²
    • 10-6 mbars

    Lösungen aus dem Vakuum-Tribometer

    Das Vakuum-Tribometer wird in einer Vielzahl von Branchen und Anwendungen umfassend eingesetzt:
    • Luft- und Raumfahrt
    • Halbleiter
    • Quanten-Computing

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