Film Thickness Probe:

Messungen der Schichtdicken

Einfache Integration, berührungslose, zerstörungsfreie Schichtdickenmessung mit einem Klick.

Linear reciprocating drive for linear friction and wear studies

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RProbe-2000: Übersicht

Eigenschaften

Präzision: <0,01 nm oder 0,01 %
Genauigkeit: <0,2 % oder 1 nm
Stabilität: <0,02 nm oder 0,03 %
Spotgröße: Abhängig vom Objektiv (4 um bis 200 um, 2 mm)
Stichprobengröße: Plattformabhängig

Die RProbe-2000 bietet Echtzeitmessung und Analyse von Dicke, Brechungsindex (n) und Extinktionskoeffizient (k) und Rauheit mit einem Klick. Dieses System ist einfach zu bedienen, ohne dass Expertenwissen erforderlich ist. Das Messgerät enthält ein leistungsstarkes Analysepaket mit Skalierungskorrektur und dynamischer Messung. Umfangreiche Materialbibliothek (500+) und Analysehistorie: Messergebnisse und Statistiken abrufen/anzeigen.

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Seamless Integration

RProbe-2000 film thickness probe across various solutions

Universal tribometer MFT-5000 by Rtec Instruments

Multi Function Tribometer, MFT-5000

Rtec-Instruments Surface Material Tester SMT-5000

Indentation and Scratch Tester, SMT-5000

3D Optical Profilometer, UP-5000

3D Optical Microscope UP-3000 from Rtec Instruments

3D Universal Profilometer, UP-3000

Standard Configurations

The table shows the basic specification for the RProbe-2000.

Model RProbe-2000-XX	Wavelength Range	Spectrometer/Detector/Light source	Thickness Range*
Vsbl-a	400-1100 nm	Spectrometer F4/Si 3600 pixels/ Tungsten – Halogen light source	10 nm to 75 µm
UvVisbl	200-1000 nm	Spectrometer F4/ Si CCD 2048 pixels/ Deuterium & Tungsten-Halogen light source	1 nm to 75 µm (option: up to 150µm)
Vsbl	700-1100 nm	HR Spectrometer F4/Si 2048 pixels/ Tungsten – Halogen light source	1 µm to 400 µm
Nifr	900-1700 nm	NIR F4/512 InGaAs PDA/Tungsten-Halogen light source	50 nm – 100 µm
Vsbl-Nifr	400-1700 nm	Spectrometer F4 Si CCD 3600 pixels(Vis channel);NIR F4/512 InGaAs PDA (NIR channel) Tungsten-Halogen light source	10 nm – 100 µm
UvVsblNifr	200-1700 nm	Spectrometer F4 Si CCD 2048 pixels (UVVis channel); NIR F4/512 InGaAs PDA( NIR channel) Deuterium & Tungsten-Halogen light source	1 nm – 100 µm
Visbl-HF	400-1100 nm	F4/Si 2048 pixels, Tungsten Halogen light source. High frequency measurement version of MProbe Vis system (LAN interface, 10µs integration time)	10 nm – 70 µm
NifrHr	1500-1550 nm	NIR F4/512 InGaAs PDA/Tungsten-Halogen light source or SLD (super-luminescent diode)	10 nm – 1800 µm (quartz) 4 µm – 500 µm (Si)

* T, n & k measurement in 25nm – 20µm thickness range. Maximum thickness limits are listed for R.I.= 1.5 Other configuration are available.

Film Thickness Probe Features

The RProbe provides reliable, tracable, and repeatable film thickness analysis.

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Analysis of Translucent or Light absorbing films

This includes oxides, nitrides, photoresists, polymers, semiconductors, hard coatings, thin metal films, and many more

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Thin Solar Cells

aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe – full solar stack measurement. LCD, FPD application: ITO, Cell Gaps, Polyamides. Optical Coatings: dielectric filters, hardness coating, anti-reflection coating Semiconductor and dialectics: Oxides, Nitrides, OLED stack