表面材質試験機
SMT-2000 ナノインデンテーションの卓越性 ― ナノスケールの精度と信頼性が融合する場所
SMT-2000 PiQ ナノインデンターは、ナノスケールでの超高精度な機械的特性評価を目的として設計された、新世代のナノインデンテーション技術です。 その先進的なPiQナノインデンターヘッドは、高性能な圧電駆動機構と、真の荷重および真の深さ検出機能を統合しており、高精度かつ再現性の高い硬度および弾性率の測定を保証します。 自動XYZモーター駆動ステージにより、試料表面全体にわたる高スループットのマッピングと精密な位置決めが可能になります。内蔵の光学顕微鏡は、表面の詳細な可視化と正確な圧入位置の決定を実現します。これらの機能を組み合わせることで、本システムは研究および産業用途におけるコーティング、薄膜、およびマイクロスケール構造の信頼性の高い試験に最適です。
主な特長
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| 最大押し込み荷重 | 500 mN |
|---|---|
| 負荷分解能 | 0,015 μN |
| 負荷ノイズフロア [rms] | 1 μN |
| 最大圧痕深さ | 200 μm |
| 深度分解能 | 0.005 nm |
| デプスノイズフロア [rms] | 0.1 nm |
| データ取得率 | 1 MHz |
| XYZステージ | 50 × 180 × 15 mm |
| 共振周波数 | 260 Hz |
| サイズ | 40 × 40 × 40 cm |
| 重量 | 30 kg |
よくある質問
ナノインデンテーション試験機とは、極めて微小なインデンター先端を材料の表面に押し込み、力と変位の関係を記録することで、硬度や弾性率といったナノスケールでの機械的特性を測定するための装置である。
硬度、
弾性係数(ヤング率)、
クリープ挙動、
粘弾性特性
- ナノインデンテーション:極めて小さな荷重(µN~mN)、ナノメートル単位の深さ、高解像度
- マイクロインデンテーション:より大きな荷重(グラム~kg)、インデントサイズの光学測定
ナノインデンテーションは、薄膜、コーティング、および微小な試料に適しています。
- 薄膜およびコーティング
- 金属、セラミックス、高分子
- 生体材料
- 半導体材料 表面は、一般的に平坦で、適切に処理されている(粗さが小さい)必要があります。
これは、圧痕データの荷重除去曲線から硬度および弾性率を算出するために用いられる標準的な解析手法です。
圧子の先端は完全に鋭利ではないため、その形状(面積関数)を校正する必要があります。校正が不正確だと、硬度や弾性率に系統誤差が生じます。
- コーティング性能評価
- 薄膜の機械的特性評価
- 半導体研究
- 電池材料の試験
- 生体材料研究
- 先端製造における品質管理
SMT-2000は、硬度、弾性率、時間依存挙動など、マイクロスケールからナノスケールにおける材料の機械的特性を測定するために設計された高精度ナノインデンテーションシステムです。
SMT-2000の主な特長は以下の通りです。
- 高い荷重および変位分解能
- 安定した低荷重測定を実現する高度な制御機能
- モジュール式の構成オプション
- 堅牢なデータ解析ソフトウェア
はい、これは薄膜や表面層向けに特別に設計されており、基板の影響を最小限に抑えるために、浅い圧痕を制御して形成することができます。
SMT-2000には、以下の機能を持つソフトウェアが付属しています。
- 自動試験およびマッピング
- リアルタイムの荷重-深さ曲線
- 機械的特性の抽出
- データのエクスポートおよびレポート作成
