分光式膜厚測定器

Rtec-Instruments社のスペクトル式薄膜厚さ測定装置は、スペクトル反射率技術を用いて、薄膜の厚さを迅速、正確、かつ非接触で測定します。

本システムは、薄膜界面からの光の波長依存的な反射を分析することで、試料を損傷させることなく、膜厚および光学特性を高精度に測定します。

半導体、光学、エレクトロニクス、太陽光発電、および先端材料分野で使用される単層および多層コーティングに最適であり、品質管理や研究のために迅速かつ再現性の高い測定を実現します。