UP-5000 300 x 300 毫米 3D 光学轮廓仪，配备原子力显微镜（AFM）和拉曼光谱仪

UP-5000 集成了白光干涉、旋转盘共聚焦、光谱膜厚、暗场、可变焦和明场等多种测量模式。 此外，还可选配原子力显微镜（AFM）模块和拉曼光谱功能，从而使该单一平台上的测量模式总数达到八种。因此，在不同模式之间切换无需更换硬件或重新定位样品。

UP-5000 基于一个 300 × 300 毫米的高精度交叉滚子 XY 工作台构建。因此，它可容纳完整的半导体晶圆、保护膜、大型光学元件、多样品夹具板以及尺寸过大而无法在紧凑型轮廓仪上测量的工业测试试样。 此外，载台位置的精密编码功能支持在整个样品区域内实现无缝自动拼接。

UP-5000共聚焦技术在所有光学技术中提供了最精确的XY分辨率，即使在坡度较大的区域也是如此。此外，集成的干涉测量模式还能在任何放大倍率下提供最佳的Z轴分辨率。

显微镜光学系统同时提供明场和暗场两种模式。然而，传统系统仅使用明场成像。