Profilomètre optique 3D
UP-5000 Profilomètre optique 3D de 300 x 300 mm avec AFM et Raman
Un profilomètre optique 3D à grande surface combinant six techniques d’imagerie et d’analyse — confocale, interférométrie en lumière blanche, mesure spectrale de l’épaisseur de film, champ sombre, mise au point variable, AFM et Raman — sur une platine motorisée de 300 × 300 mm. Il permet ainsi de réaliser la métrologie de surface à l’échelle d’une plaquette et de composants de grande taille sur une seule et même plateforme.
CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES
Plateforme d'imagerie optique « six-en-un »
L'UP-5000 intègre les modes suivants : interférométrie en lumière blanche, confocal à disque rotatif, mesure spectrale de l'épaisseur de film, champ sombre, mise au point variable et champ clair. De plus, un module AFM et la spectroscopie Raman sont disponibles en option, portant ainsi à huit le nombre total de modalités de mesure sur une seule et même plateforme. Par conséquent, le passage d’un mode à l’autre ne nécessite aucune modification matérielle ni aucun repositionnement de l’échantillon.
Platine de 300 × 300 mm pour l'imagerie d'échantillons de grande taille
L'UP-5000 s'articule autour d'une platine XY à rouleaux croisés de haute précision de 300 × 300 mm. Il permet ainsi d'accueillir des plaquettes de semi-conducteurs entières, des pellicules, des composants optiques de grande taille, des plaques de fixation pour échantillons multiples, ainsi que des échantillons d'essai industriels trop volumineux pour les profilomètres compacts. De plus, le codage de précision de la position de la platine permet un assemblage automatique sans discontinuité sur l'ensemble de la zone d'échantillon.
Le meilleur profilomètre 3D XYZ du marché en termes de résolution
La technologie confocale de l'UP-5000 offre la résolution XY la plus précise parmi toutes les techniques optiques, même sur des zones présentant une forte pente. De plus, le mode d'interférométrie intégré garantit la meilleure résolution Z, quel que soit le grossissement.
Imagerie en champ sombre
L'optique du microscope permet d'utiliser à la fois les modes « champ clair » et « champ sombre ». Les systèmes classiques, en revanche, n'utilisent que l'imagerie en champ clair.
AFM, Raman, épaisseur de film
Grâce à sa conception en plateforme ouverte et à son espace généreux, l'UP-5000 permet d'intégrer plusieurs techniques complémentaires. Ainsi, une même zone d'essai peut être analysée de manière exhaustive sous de multiples angles.
En savoir plus sur
| Mode d'imagerie | Imagerie confocale, interférométrie en lumière blanche, champ clair, champ sombre et imagerie à mise au point variable |
|---|---|
| Mesure de surface | Rugosité, topographie 3D, hauteur de marche, épaisseur de film, analyse des défauts, contrôle des fissures et texture de surface |
| Platine XYZ motorisée | 300 × 300 × 150 mm |
| Normes | ISO 25178 - ISO 16610 - ISO 12781 - ISO 4287 - EUR 15178 |
