Perfilómetro óptico 3D
UP-5000 Perfilador óptico 3D de 300 x 300 mm con AFM y Raman
Un perfilómetro óptico 3D de gran superficie que combina seis técnicas de imagen y análisis —confocal, interferometría de luz blanca, espesor espectral de película, campo oscuro, enfoque variable, AFM y Raman— en una platina motorizada de 300 × 300 mm. Gracias a ello, permite realizar mediciones de superficies a escala de oblea y de componentes de gran tamaño en una sola plataforma.
CARACTERÍSTICAS PRINCIPALES
Plataforma de imagen óptica «seis en uno»
El UP-5000 integra los modos de interferometría de luz blanca, confocal de disco giratorio, espesor espectral de película, campo oscuro, enfoque variable y campo claro. Además, hay un módulo de AFM y espectroscopia Raman disponibles como opciones adicionales, lo que eleva el total a ocho modalidades de medición en una sola plataforma. Por lo tanto, cambiar de modo no requiere cambios de hardware ni reubicar la muestra.
Plataforma de 300 × 300 mm para la obtención de imágenes de muestras grandes
El UP-5000 se basa en una plataforma XY de rodillos cruzados de alta precisión de 300 × 300 mm. Por eso, puede albergar obleas de semiconductores completas, películas, componentes ópticos de gran tamaño, placas de sujeción para múltiples muestras y muestras de ensayo industriales que son demasiado grandes para los perfilómetros compactos. Además, la codificación de precisión de la posición de la plataforma permite un ensamblaje automático sin fisuras en toda la superficie de la muestra.
El mejor perfilómetro 3D de resolución XYZ del mercado
La tecnología confocal del UP-5000 ofrece la resolución XY más precisa de todas las técnicas ópticas, incluso en zonas con gran pendiente. Además, el modo de interferometría integrado proporciona la mejor resolución Z a cualquier aumento.
Imágenes en campo oscuro
La óptica del microscopio ofrece tanto el modo de campo claro como el de campo oscuro. Sin embargo, los sistemas convencionales solo utilizan la imagen de campo claro.
AFM, Raman, espesor de la capa
Gracias a su diseño de plataforma abierta y a su amplio espacio, el UP-5000 permite integrar varias técnicas complementarias. Así, se puede analizar de forma exhaustiva la misma zona de ensayo desde múltiples perspectivas.
Más información sobre
Confocal – Disco giratorio
El escaneo de área más rápido: escanea la superficie en un instante
Interferometría de luz blanca
La mayor resolución en el eje Z en la perfilometría óptica
Determinación ultrarrápida del espesor de una película
El módulo de medición del espesor de películas utiliza la reflectancia espectral para medir el espesor de las superficies recubiertas. No hace falta tener experiencia, ya que nuestro sistema de un solo clic hace que medir las muestras sea muy sencillo. Además, nuestra amplia biblioteca de materiales, con más de 500 entradas, y la capacidad de medir varias muestras a la vez te permiten hacer un análisis completo del espesor. Así, siempre obtienes valores de altura de escalón y espesor de alta precisión sin necesidad de contacto.
Microscopio de fuerza atómica (AFM)
Cuando las características de la superficie superan los límites de resolución de la microscopía óptica, el microscopio de fuerza atómica (AFM) de RTEC te permite caracterizar la superficie a escala nanométrica y a nivel atómico. Mediante una sonda de barrido de alta precisión, el AFM genera imágenes 3D de resolución ultraalta al tiempo que mide propiedades superficiales clave como la rugosidad, las dimensiones de las características, los defectos, los límites de grano, el contraste de fase y la morfología a escala nanométrica.
El sistema incluye un amplio conjunto de modos de medición para topografía, imágenes de fase, mediciones de fuerza y caracterización de propiedades de los materiales, lo que lo hace ideal para la investigación y el control de calidad en semiconductores, materiales avanzados, recubrimientos, polímeros, MEMS y ciencias de la vida. Al integrarse con la plataforma RTEC Universal Profiler, puedes localizar fácilmente una zona de interés mediante perfilometría óptica sin contacto y, con un solo clic, obtener imágenes AFM de alta resolución de exactamente la misma superficie. Este flujo de trabajo correlacionado combina la rapidez de la metrología óptica con la precisión a nanoescala del AFM, lo que permite una caracterización exhaustiva de la superficie a múltiples escalas.
Imágenes con enfoque variable
La tecnología avanzada de apilado de enfoque combina automáticamente imágenes captadas en varios planos focales para crear una imagen de alta resolución perfectamente enfocada. El resultado es una visualización rápida y sin contacto de superficies 3D complejas con un nivel de detalle excepcional, lo que hace que la inspección, el análisis de defectos y la documentación sean más fáciles y fiables.
| Modo de imagen | Imágenes confocales, por interferometría de luz blanca, en campo claro, en campo oscuro y con enfoque variable |
|---|---|
| Medición de superficies | Rugosidad, topografía 3D, altura de escalón, espesor de la capa, análisis de defectos, inspección de grietas y textura de la superficie |
| Plataforma XYZ motorizada | 300 × 300 × 150 mm |
| Normas | ISO 25178 - ISO 16610 - ISO 12781 - ISO 4287 - EUR 15178 |
