3D光学轮廓仪

UP-3000 最快的 3D 共聚焦轮廓仪 + 白光干涉仪

UP-3000 是一款新一代旋转盘共聚焦轮廓仪,专为那些既追求速度又不愿牺牲精度的实验室和制造商而设计。 UP-3000 将五种强大的成像模式——共焦、白光干涉、暗场、可变焦和明场——整合于一台台式系统中,为表面粗糙度、纹理及 3D 形貌分析提供了无与伦比的多功能性。 作为同类共聚焦轮廓仪中扫描速度最快、XY分辨率最高的设备,它使研究人员和质量控制团队能够比以往更快地获取高保真度的测量数据。借助 UP-3000,探索非接触式表面计量更智能的方法。

主要特点

高速共聚焦显微镜——一次扫描覆盖全区域

该共聚焦模块采用一个带有数千个旋转针孔的旋转尼普科夫盘,可同时照亮整个表面,从而无需XY载物台移动即可实现全区域扫描。因此,这种方法比点扫描或激光共聚焦系统更快。 此外,两台高速500万像素、200帧/秒的摄像头能够以极快的速度生成纳米级3D数据。

光学轮廓测量领域中业界领先的XYZ分辨率

UP-3000 的共焦技术提供了所有光学轮廓测量技术中最为精确的 XY 分辨率——即使在其他系统难以应对的陡峭斜面上也是如此。其集成的干涉测量模式在任何放大倍率下都能提供业界领先的 Z 轴分辨率,将卓越的横向细节与垂直精度融合于一个功能强大的测量平台之中。

5种技巧、1个工具、一键完成

UP-3000 将五种成像技术——共聚焦、白光干涉、暗场、可变焦和明场——集于一体,尽在单一台式平台之中。只需点击一下,即可瞬间在不同模式之间切换,以满足您的样品和测量需求,从而避免了使用多台独立仪器所带来的成本、复杂性和停机时间。

暗场成像:观察明场无法观察到的景象

暗场模式可揭示在常规明场照明下无法观察到的表面裂纹、缺陷及特征。凭借高对比度、高分辨率和快速扫描等特性,这一功能使 UP-3000 脱颖而出,与大多数同类 3D 表面轮廓仪形成鲜明对比,从而揭示出原本无法被察觉的关键细节。

测量透明、半透明和不透明表面

UP-3000 独特的共焦模式能够攻克传统光学仪器难以应对的各种表面——包括玻璃、亚表面特征、微流控器件、多层镀膜、聚合物以及浸没在液体中的样品。 无论是透明、半透明还是不透明的材料,均不在话下。在其他轮廓仪无法胜任的情况下,UP-3000 总能提供精准、可靠的测量结果。

更多相关信息

成像模式共聚焦、白光干涉、明场、暗场和可变焦成像
表面测量粗糙度、3D地形、台阶高度、膜厚、缺陷分析、裂纹检测和表面纹理
电动XYZ工作台150 × 200 × 150 毫米
标准ISO 25178 - ISO 16610 - ISO 12781 - ISO 4287 - EUR 15178

常见问题解答

UP-3000 可测量表面粗糙度(Ra、Rq、Sa、Sq及相关参数)、台阶高度、磨损体积、3D地形以及表面缺陷。在白光干涉测量模式下,该仪器对光滑和镜面表面可实现亚纳米级的垂直分辨率。 在旋转盘共焦模式下,该仪器可测量陡峭斜面、透明薄膜以及粗糙涂层——这些情况在纯干涉仪中会导致干涉条纹丢失。 暗场模式可提供裂纹、分层边缘和颗粒的高对比度图像。UP-3000 是一款 3D 光学轮廓仪,能够根据样品自动调整测量技术。
UP-3000 适用于需要进行高速、非接触式 3D 表面测量的研究人员、质量工程师和工艺开发团队。涂层与材料工程师利用该设备对沉积前后表面粗糙度进行表征,通过台阶高度验证膜厚,并检测涂层缺陷。 摩擦学和机械测试实验室利用该设备,对摩擦和粘着试验后的磨损痕迹及划痕轨迹进行测绘。半导体和显示器制造商则将其用于晶圆表面检测、PCB地形测量以及微电子特征测量。UP-3000 既适用于研发环境,也适用于生产质量控制环境。
UP-2000 是一款白光干涉仪,专注于白光干涉(WLI)和相位偏移干涉技术,用于测量光滑至中等粗糙度表面的粗糙度和台阶高度。UP-3000 增加了旋转盘共聚焦显微镜和暗场成像功能,将应用范围扩展至透明薄膜、陡峭斜面以及深色或高度纹理化的表面。 UP-3000 还配备了双专用摄像头和四色 LED 照明系统,在所有模式下均提升了图像质量。
是的。旋转盘共聚焦模式能够很好地处理透明材料,因为针孔阵列在物理上能够屏蔽失焦光,包括来自亚表面界面的反射光。这使得在不受背表面反射干扰的情况下,能够测量透明涂层、光学透镜和玻璃基板的表面形貌。
是的。UP-3000 配备了标准测试协议,旨在支持 ISO 25178 面积表面纹理分析以及 ISO 4287 轮廓参数测量。该软件可按照这些规范计算所有标准粗糙度参数。
暗场模式利用专用光学系统营造出深色背景,因此会散射光线的表面特征——如裂纹、颗粒、分层边缘和表面不连续处——在深色背景的衬托下显得格外明亮。这种高对比度成像使那些在普通明场照明下难以检测到的缺陷变得清晰可见。
旋转盘共聚焦模式采用尼普科夫盘,可同时照亮整个样品区域,而非逐点扫描。 专用高速相机的工作帧率高达每秒200帧。这使其比需要通过顺序XY运动来构建三维图像的点扫描或激光共聚焦系统快得多。
共焦轮廓仪是一种非接触式表面测量仪器,它利用针孔光阑来过滤失焦光。这使得该仪器能够对反射性、透明、粗糙以及陡峭的表面进行高分辨率的三维地形测绘,而这些表面通常是标准干涉仪难以应对的。 UP-3000采用旋转盘共焦技术——这是一种面扫描方法,比点共焦技术更快,且不存在激光共焦系统中的散斑伪影。
UP-3000 专为材料科学、表面工程和工业计量领域设计。其旋转盘共聚焦模式用于测量工程材料(而非生物样本)的表面形貌、粗糙度及三维结构。请勿将其与生命科学或荧光成像中使用的共聚焦显微镜混淆。

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