ナノ・トライボメーター

ロータリーモジュールおよび高速往復動モジュールでの低摩擦試験用のナノ・トライボメータ。 COF=0.001分析用の特許取得済み静電容量センサー。

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ナノ・トライボロジー概要

主な特徴

マイクロニュートン解像度
0.001COFを測定する実証済みのテクノロジー
特許取得済みの静電容量式負荷センサーシリーズ
室温、真空、不活性雰囲気
特許取得済みのインライン3Dプロファイラー（表面形状測定機）

Rtec Instrumentsは、低摩擦係数トライボロジーとナノ摩耗トライボペアを実行するための最先端のナノトライボメータを提供しています。このナノトライボメータモジュールの中心には、Rtecの特許取得済みのロードセルがあります。まず、特許取得済みのロードセルの熱ドリフトとクロストークはごくわずかです。第二に、業界をリードする解像度と精度は、前例のないレベルで力の測定を提供します。最後に、低摩擦モジュールは、周囲環境および制御された環境条件で動作できます。ロードセルをいくつかの利用可能なモーションと組み合わせることで、さまざまな条件下でテストを利用できます。

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多機能トライボメーターMFTシリーズ

多用途の表面および材料試験を可能にする当社の MFT トライボメーターをご覧ください。

多機能型トライボメーターMFTシリーズ　についてもっと知る

比類のないロードセルテクノロジー

特許取得済みの静電容量ロードセル

比類のない精度と解像度を提供することに加えて、センサーはいくつかの環境に対応します。

静電容量型ロードセル

高剛性設計による最高解像度

耐久性

独自の設計により、取り扱いミスによるセンサーの破損を防ぎます

追加ピエゾセンサー

ナノメートル精度のZ位置決め。独立したピエゾアクチュエータ

剛性の高い構造

剛性の高い構造により、ホルダーの傾きが最小限に抑えられます。

ナノ・トライボロジーのセットアップ

Rtec Instrumentsのナノトライボメータ技術は、様々なセットアップで機能します。

超潤滑2D材料サンプルのテスト

テスト中の3Dマップデータの生成

インラインプロファイラー（表面形状測定機）を備えたナノ・トライボメータ真空チャンバー

自動インラインイメージング

粗さ、摩耗、体積VS時間

摩擦、摩耗、表面形状を簡単に関連付ける

統合された3Dプロファイラー（表面形状測定機）は、ツールからサンプルを取り出さなくても、テスト中に摩耗トラックの表面画像を自動的に測定します。プロファイラーは、ナノ・メカニカルテスト用に最適化されています。共焦点、暗視野イメージング、干渉計などのモードでは、nmの解像度が可能です。ナノスケールでの地形の変化は、ナノトライボロジーの包括的な理解を可能にします。たとえば、取得された最初の3D画像は、粒界、粗さ、サンプルの方向、および接触面の他の局所的な特徴を考慮に入れています。高精度のxyステージにより、摩耗マーク全体を自動的にステッチできます。

rtec-instruments試験機のインライン3Dプロファイラー（表面形状測定機）による摩耗の進行

分析

Ball On Disc セットアップ＆データ

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セットアップ

DLCコーティングされたボールは、ロータリーモジュール上の薄膜コーティングされたウェーハに対して垂直に配置されます。ユニバーサル上部および下部サンプルホルダーは、サンプルを取り付けるために使用されます。

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結果

下のグラフは、50mN荷重と400RPMでの2つのコーティングのCOF摩擦曲線を示しています。

ナノ・トライボメータになぜAFMが必要か

いくつかの超低摩擦アプリケーションに広範囲（サイズと形状）のサンプルを取り付けます。原子スケールで摩擦特性を研究します。

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問題

現在、低摩擦測定作業のほとんどはAFMを使用して行われています。 AFMを使用したテストには、次のような課題があります。（i）摩擦を測定するためのAFMチップの校正（ii）AFMチップの繰り返し不可能な曲げ（iii）小さなダウンフォースしか適用できません（iv）サンプルの小さな領域のみをテストできます（v）環境に対する制限された管理

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解決策

この低摩擦トライボメータは、広い直線速度と回転速度（10,000 rpm）にわたって、超高精度センサーを使用して低摩擦と摩耗を測定できます。これらのシナリオでの摩耗率はごくわずかであるため、インライン3Dプロファイラー（表面形状測定機）はサンプルを除去せずにデータを提供するのに非常に役立ちます。この独自の組み合わせにより、時間の経過とともに変化する摩耗トラックの体積摩耗と化学的性質の変化を調べることができます。

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利点

ナノ・トライボメータのセットアップには、AFMや他のモデルを使用して実行される一般的なテストに比べていくつかの利点があります。これらには以下が含まれます（i）業界をリードする高解像度で頑丈なセンサーで、数回のテストごとに校正する必要なしに、正確で信頼性が高く、再現性のある測定を実現します。（ii）AFMと比較してはるかに大きな下向きの力を適用します。（iii）コーティングの包括的な分析のためのミクロおよびマクロスケールのサンプル。（iv）周囲環境および制御された環境（高温、真空、不活性ガス）（v）摩耗痕跡の自動分析のための3Dイメージング。