真空トライボメータ
MVT-2 高度真空トライボロジー試験システム

高度な真空トライボロジー研究向けに設計された MVT-2 マルチファンクション真空トライボメータは、材料およびコーティングにおける摩擦・摩耗を高精度に測定するためのシステムです。制御された真空環境下において、同一装置で極低温から高温試験まで、荷重・速度・温度の広範な条件に対応します。

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概要

主な特長：

10⁻⁷ Torr まで対応する超高真空性能

mN～200 N の摩擦力および法線荷重制御

3.5 K からの極低温冷却

トライボロジー、硬さ、スクラッチ試験用の交換可能モジュール

最大 400 ℃（オプションで 1000 ℃）の温度範囲

なぜ真空トライボロジーなのか？
宇宙、半導体、航空宇宙、薄膜技術分野の進展により、真空環境下における材料およびコーティング特性への関心が高まっています。一方で、真空中の摩擦・摩耗・付着メカニズムは大気環境下とは大きく異なります。そのため、次世代の真空対応部品を開発するには、実使用条件に近い環境でのトライボロジー試験が不可欠です。

このような理由から、真空用途材料の適切な評価には、現実的な熱的・機械的・環境条件下で実施される真空トライボロジー試験が求められます。

Rtec MVT-2 真空トライボメータは、真空環境下における材料特性評価のために、荷重・速度・温度を高精度に制御可能です。さらに、特許取得済みの力センサを組み込んだ独自設計により、優れた測定精度と再現性を実現しています。

オープンフェース構造のチャンバーにより、試料交換時の視認性と操作性が向上します。同時に、ピンオンディスク、ボールオンディスク、リニア往復試験など、複数の摩擦・潤滑・摩耗試験を同一プラットフォーム上で実施可能です。

加えて、モジュール式設計により、装置を変更することなく、圧痕試験、スクラッチ試験、トライボロジー試験を行うことができます。用途に応じた複数の標準真空チャンバー構成が用意されています。

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+81-50-5896-9916

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真空トライボロジー研究向けの摩擦・摩耗試験コンポーネントを備えた開放型真空トライボメータチャンバー。

特徴

Rtec-Instruments の真空トライボメータは、複数の特許取得済みおよびシステムレベルの設計技術を統合し、単一プラットフォームで幅広い真空トライボロジー試験を実施可能な唯一の市販装置です。

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特許取得済み力センサ

容量式力センサは、超高真空環境下において信号ドリフトやセンサ脱ガスを生じることなく、安定した測定性能を発揮します。

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高速真空生成

内蔵の粗引きポンプおよびターボ分子ポンプシステムにより、約 45 分で 10⁻⁷ Torr の真空到達が可能です。

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ロータリー＆往復動モジュール

最大 5000 RPM の回転試験および最大 6 mm/s のリニア往復運動に対応し、高精度な動作制御を可能にするピエゾ駆動ステージをオプションで提供します。

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極低温から高温制御

クローズドループ方式の液体ヘリウム極低温冷却により、3.5 K までの試験が可能です。標準加熱では 400 ℃ まで対応し、オプションとして 1000 ℃ の高出力加熱チャンバーを提供します。

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クローズドループ力制御

試験中のリアルタイムクローズドループ力制御により、真空環境下での摩擦–荷重曲線および摩擦–速度曲線を自動生成できます。

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様々なアプリケーション対応のモジュール

モジュール構成により、装置を再構成することなく、同一の真空トライボメータプラットフォーム上でスクラッチ試験、圧痕試験、トライボロジー試験を実施できます。

試験環境コントロール

摩擦係数および摩耗挙動は、環境条件の影響を強く受けます。そのため、信頼性の高いトライボロジー評価を行うには、実際の使用環境を忠実に再現した試験条件が必要です。この要件に対応するため、MVT-2 真空トライボメータには、試験中の温度および雰囲気を高精度に制御する高度なクローズドループ環境制御機構が搭載されています。

試験中には温度を動的に変更することが可能で、同一プラットフォーム上において、極低温条件（3.5 K）から最大 400 ℃ の高温条件まで、シームレスな温度遷移を実現します。

高温・極低温対応性能

クローズドループ方式の極低温および高温チャンバーにより、装置や試験構成を変更することなく、3.5 K から 400 ℃ までの極めて広い温度範囲で連続試験が可能です。さらに、オプションとして 1000 ℃ まで対応する高出力加熱構成も用意されています。

環境雰囲気制御

真空チャンバーは、超高真空および制御された不活性ガス雰囲気の両方に対応しており、航空宇宙、宇宙、半導体、先端材料研究向けに、用途に応じた環境条件下での真空トライボロジー試験を可能にします。

比類のないロードセルテクノロジー

静電容量センサー

特許取得済みの多次元容量式力センサを搭載した MVT-2 真空トライボメータは、真空トライボロジー用途において卓越した力分解能と長期安定性を実現します。さらに、このセンサ技術により、超高真空環境下での摩擦および摩耗の高精度測定が可能です。加えて、mN～200 N の広い荷重範囲に対応しているため、同一の真空トライボメータプラットフォーム上で、繊細な薄膜からバルク材料までシームレスに試験できます。