3D光学プロファイラー（表面形状測定機）

ナノメートル解像度をつ3D光学プロファイラー。自動測定と分析を備えた、高度でモジュール式のコンパクトタイプ。

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最高の3D光学プロファイラ（表面形状測定機）

独自の3D高解像度ユニバーサル光学プロファイラー（表面形状測定機）は、包括的な分析のために同じプラットフォーム上で複数の光学イメージング技術を組み合わせています。ほぼすべての材料の粗さ、ステップの高さ、テクスチャ、形状、厚さなどを簡単に測定できます

ハイスピード分析

高速スキャン用、200FPSの業界をリードする高解像度カメラ。

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最高のZ軸解像度

最先端のエンコーダーは、最高の非接触Z解像度を提供します。

用途の広いプラットフォーム

さまざまなサンプルに対応するためのカスタマイズ可能なオープンフレームデザインのXYステージ、環境制御、およびホルダーの用意があります。

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強力な分析ソフトウェア

正確で使いやすいISOに準拠したソフトウェア。

なぜ3D光学プロファイラーか

プロファイラーは、顧客があらゆる表面を簡単に分析するのに役立つイメージング技術の独自の組み合わせを提供します。単一のプラットフォームでナノメートルからミリメートルまでを測定し、粗さ、うねり、膜厚、化学的性質マップ、および原子構造をワンクリックで自動的に測定することにより、表面を測定します。この非常に包括的な表面測定アプローチは業界初です。

Rtec-Instruments Sigma and Lambda 3D optical profilometer heads

高品質をお届けします

ISO準拠の分析

機器には正規化されたテストを保証するための標準テストプロトコルが付属しています。

あらゆるサンプルの表面分析で問題解決

マイクロ流体チャンネル

透明コーティング

ポリマーコーティング

サブナノメートルの3D機能

最高のZおよびX&Y解像度で、粗い、透明な、または滑らかな表面をナノメートルレベルで分析します。共焦点顕微鏡と白色光干渉計を同じ筐体に配置します。

半導体ウエハー

最大300×300 mmのステージで、ウエハー全体、デバイス、ペリクルの欠陥、構造、ステップの高さ、厚さ、粒子などを分析します。同じ領域のAFM、ラマン、および光学プロファイラーデータを組み合わせます。

特徴

pellicles surface data using rtec 3d optical microscope

粒子

ウエハー

turning sample 3d data using rtec 3d optical microscope

ターニングサンプル

scratch test 3d data using rtec 3d optical microscope

スクラッチ

indentation 3d image on rtec universal profiler

インデンテーション

クオリティコントロール（QC）

ワンクリックで亀裂や欠陥を見つけます。自動レポートと合格不合格基準分析は、R＆Dと品質管理環境の両方にプラットフォームを使用するのに役立ちます。

3D光学プロファイラーとは何か

3D光学プロファイラでは、表面画像を光学的にキャプチャし、XYZ軸で画像をつなぎ合わせ、データを定量化して、従来では不可能だった粗さ、ステップ高さ、膜厚、曲率、欠陥などを計算することで、3次元表面形状を測定します。表面の2Dおよび3Dモデルを作成するために使用できるさまざまな種類の手法があります。当社の製品に使用されているもののいくつかを以下に示します。

二プコー共焦点イメージングとは

共焦点顕微鏡は、非接触光学イメージング技術です。ピンホールを利用した表面トポグラフィーの解像度とコントラストを高めることができます。まず、これらのピンホールは、画像スキャン中に焦点が合っていない光をブロックします。次に、白色光と Nipkow 共焦点ディスクが非常に高速で大きなサンプル領域をキャプチャし、3 次元スキャンを作成します。 UP-5000 および UP-3000 3D 光学顕微鏡には、この機能があります。

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白色干渉計とは

白色光干渉法は、走査型干渉法を使用して表面形状を測定する非接触光学法です。この手法には、ビームスプリッターを使用して測定ビームと参照ビームに分割される光ビームが含まれます。次に、これらのビームを再結合して干渉パターンを作成し、分析して表面の2Dおよび3Dモデルを生成します。モデル名UP-2000はこの白色干渉計に特化したモデルです。

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暗視野イメージングとは

暗視野顕微鏡法は、通常の明視野イメージング条件下では十分にイメージングされない標本に高解像度のコントラストを作成する技術です。特殊な暗視野対物レンズと専用の照明システムを使用して、暗い背景が作成されます。これにより、サーフェスフィーチャの高度なコントラストが可能になります。すべての当社の3D 光学顕微鏡は暗視野が可能です。

可変焦点イメージングとは

可変焦点イメージングは、焦点が合った表面画像を取得するために使用されるイメージング技術です。さまざまなX、Y、およびZ値で画像をキャプチャしてそれらをつなぎ合わせ、表面の焦点を完全に合わせた明視野画像を作成することによって行われます。これは、2D画像と3D画像の両方で使用されます。各3D光学プロファイラは、クリスタルクリアなイメージングのために可変焦点イメージングを使用しています。