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光学3Dプロファイラー（表面形状測定機）
モデル名：UP-5000

大きなサンプル画像も
簡単に取得

大面積光学プロファイラー　UP-5000
6-in-1画像解析

干渉計+共焦点+スペクトル膜厚+暗視野+可変焦点+ AFM +ラマン

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Rtec Instruments 3D光学顕微鏡の動作

広い用途と高い正確性

光学プロファイラーUP-5000の技術、性能、解像度、および汎用性は、独自のクラスを作成します。高速スキャン、複数のイメージング技術、高解像度を備えたUP-5000は、大規模なサンプル表面イメージングに最適なソリューションを提供します。

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ハイスピードカメラ

200FPSの業界をリードするカメラ。迅速なサブナノメートル精度の測定。

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最高のZ分解能

高度な最新世代のエンコーダーは、使用するスキャン距離や倍率に関係なく、最高の非接触Z解像度を提供します。

モジュラー・プラットフォーム

300 x 300 mmの高精度クロスローラーXYステージは、複数のアプリケーションのサンプルに合うようにカスタマイズできます。（ウェーハ、デバイス、コンポーネント、クーポン、ツールなど）

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強力な分析ソフトウェア

ナノメートル分解能の研究のための正確で定量的なISO準拠の分析ソフトウェア。

他の装置と比較した特徴

同じプラットフォーム上での複数の光学技術の6-in-1の組み合わせにより、ほぼすべての種類のサンプルをnmの分解能で測定できます。

スピニングディスク共焦点

瞬時に最速のエリアスキャン表面を瞬時にスキャン

市場で最高のXY解像度の3D光学プロファイラー。 Rtec Instrumentsのスピニングディスク共焦点スキャン技術は、画像を生成するために振動運動を必要とするポイントまたはレーザー共焦点よりもはるかに優れています。何千もの回転ピンホールを使用することで、焦点が合っていない光が画像に記録されるのを防ぎます。この手法は、背景情報を排除し、画像の解像度を向上させます。高精度は、透明で急な斜面、暗いサンプル、または特徴的なサンプルでも得られます。

白色干渉計

光学プロファイラーで最高のZ解像度

光学プロファイラーで最高のZ分解能を備えた白色光干渉計は、滑らかなサンプルの位相シフトと粗いサンプルの干渉法の両方を提供します。高速度カメラは、迅速な取得でサブnmの解像度を提供します。表面粗さとなどは一瞬で取得可能です。

Bright Dark Field Imaging Modes on Rtec-Instruments Profilometer

明暗視モード

ワンクリックで画像取得し、亀裂や欠陥を特定します。すべての画像で高コントラストと高解像度を持っています。

超高速で膜厚

測定

膜厚測定モジュールは、分光反射率を使用してコーティングされた表面の厚さを取得します。ワンクリックで簡単にサンプル測定を行うため特殊な経験は必要ありません。当社の豊富な材料ライブラリ（500+）とマルチサンプル測定により、厚さの分析が可能です。非接触での高精度なステップ高と厚さが測定できます。

原子間力顕微鏡（AFM）

解像度が光の波長を超える場合、AFMは最小の特徴を識別するためにナノスケールの解像度を提供します。 AFMには、粗さ、欠陥、フィーチャサイズ、位相、およびゲイン境界を簡単に測定できるようにするためのいくつかの一般的なテストモジュールが付属しています。クリックするだけで、同じサンプル表面積をAFMと光学プロフィロメーターで画像化できます。