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UP-5000 Optisches 3D-Profilometer

Bildgebung für große Proben leicht gemacht

Modulares optisches Großflächenmikroskop UP-5000
6-in-1 optische Profilometrie-Bildanalyse:

Konfokal- + Interferometer- + Dunkelfeld- + Hellfeld- + Fokus-Variation-Bildgebung mit spektraler Filmdicke, AFM, Raman

Optisches 3D-Mikroskop in Aktion

Vielseitig und präzise

Das optische Profilometer bietet einzigartige Technologien und Vielseitigkeit, um eine einzigartige Kombination für die 3D-Bildgebung zu schaffen. Ausgestattet mit schnellem Scannen, mehreren Bildgebungsverfahren und hoher Auflösung bietet der UP-5000 die beste Lösung für die Bildgebung großer Probenoberflächen.

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Hochgeschwindigkeitskamera

Branchenführende Kamera mit 200 FPS. Schnelle Präzisionsmessungen im Sub-Nanometer-Bereich.

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Höchste Z-Auflösung

Fortschrittliche Encoder der neuesten Generation bieten die beste Z-Auflösung, unabhängig vom Scanabstand oder der verwendeten Vergrößerung.

Modulare vielseitige Plattform

Der 300 x 300 mm hochpräzise Kreuzrollen-XY-Tisch für jede Probe – Wafer, Geräte, Komponenten.

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Leistungsstarke Analysesoftware

Präzise, quantitative und ISO-konforme Analysesoftware für Studien mit Nanometerauflösung.

Ein einzigartiges optisches Mikroskop

Die 6-in-1-Kombination mehrerer optischer Techniken auf einer Plattform ermöglicht die Messung aller Arten von Proben mit Nanometer-Auflösung.

confocal 3D imaging data from Rtec Instruments six mode optical profilometer

„Spinning Disk“-Konfocal

Schnellster Flächenscan – Scannen Sie den Oberflächenbereich mit einem Klick

Optisches 3D-Profilometer mit der höchsten XY-Auflösung auf dem Markt. Unsere konfokale Scanning-Technik mit rotierender Scheibe („Spinning-Disk“) ist am schnellsten und überlegener als konfokale Punkt- oder Laser-Scans, die eine XY-Tisch- oder Oszillatorbewegung erfordern, um 3D-Bilder zu erzeugen. Unser konfokales Mikroskop verwendet mehrere tausend rotierende Nadellöcher, die physikalisch verhindern, dass Licht außerhalb des Fokus in den Strahlengang eindringt. Dies eliminiert Hintergrundinformationen und verbessert somit die Bildauflösung. Generieren Sie hochpräzise Daten für transparente Schichten, steile Hänge, dunkle Proben und Proben mit bestimmten Höhen.

Weißlichtinterferometrie

Höchste Z-Auflösung in der optischen Profilometrie

Mit der höchsten Z-Auflösung in der optischen Profilometrie kann der Tester sowohl Phasenverschiebungsinterferometrie für glatte Proben als auch Weißlichtinterferometrie für raue Proben durchführen. Die Hochgeschwindigkeitskamera bietet einen schnellen Scan mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie können Oberflächenrauheit und Oberflächengüte in Sekundenschnelle berechnen.

Bright Dark Field Imaging Modes on Rtec-Instruments Profilometer

Dunkel- und Hellfeldmodi

Identifizieren Sie Risse und Defekte mit einem einzigen Klick. Hoher Kontrast und hohe Auflösung bei jedem Bild.

Ultraschnelle Filmdicke

Festlegung

Das Modul zur Messung der Schichtdicke verwendet die spektrale Reflexion, um die Dicke beschichteter Oberflächen zu ermitteln. Für unsere einfache Probenmessung ist keine Erfahrung erforderlich. Unsere umfangreiche Materialbibliothek (500+) und verschiedenen Probenmessungen ermöglichen eine Dickenanalyse.

Film Thickness data from Rtec instruments optical microscope

Rasterkraftmikroskop

Wenn die Auflösungsanforderungen Lichtwellenlängen überschreiten, bietet das AFM eine Auflösung im Nanomaßstab, um die kleinsten Merkmale zu identifizieren. Das AFM wird mit mehreren Testmodulen geliefert, um eine einfache Messung von Rauheit, Defekten und Merkmalen zu ermöglichen. Mit einem einfachen Klick kann die gleiche Probenoberfläche mit AFM und dem optischen Profilometer abgebildet werden.