Optische 3D-Mikroskope

Nanometer-Auflösung, optische 3D-Mikroskope
Vollautomatische Messung und Analyse
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Wählen Sie das Modell aus den besten 3D-optischen Mikroskopen

Die einzigartigen hochauflösenden universellen optischen 3D-Profilometer kombinieren mehrere optische Bildgebungsverfahren auf einer Plattform für eine umfassende Analyse. Es misst mühelos Rauheit, Stufenhöhe, Textur, Geometrie und Dicke auf fast jedem Material.

Universal Profilometer UP-5000
UP-5000

Konfokales Mikroskop + Weißlichtinterferometer + AFM, Raman oder spektrale Filmdicke

Universelles optisches 3D-Mikroskop
UP-3000

Konfokales Mikroskop + Weißlichtinterferometer + Dunkelfeld-Bildgebung

 

 

Weißlichtinterferometer UP-2000
UP-2000

Weißlichtinterferometer

 

Hochgeschwindigkeitskamera

Branchenführende hochauflösende Hochgeschwindigkeitskamera mit 200 FPS für Hochgeschwindigkeitsscans.

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Höchste Z-Auflösung

Modernste Encoder bieten höchste Z-Auflösung unabhängig vom Scanabstand.

Vielseitige Plattform

Offenes Rahmendesign, X&Y-Tische, Umgebungskontrollen und probenhalter zur Aufnahme verschiedener Proben.

Leistungsstarke Analysesoftware

Präzise, ​​einfach zu bedienende, automatische, quantitative und ISO-konforme Software.

Vorteile

universeller 3D-Profilometer

Die Profilometer von Rtec Instruments bieten eine einzigartige Kombination von Bildgebungsverfahren, mit denen Kunden jede Oberfläche problemlos analysieren können. Sie können Oberflächen untersuchen, indem Sie Rauheit, Welligkeit und Defekte automatisch mit einem einzigen Klick messen. Dieser sehr umfassende Ansatz der Oberflächenmessung ist der erste in der Branche.

Hohe Qualität

ISO-konforme messtechnische Analyse 

 

Die Geräte werden mit Standardtestprotokollen geliefert, um normalisierte Tests zu gewährleisten.

3D-Bilder für jede Situation

Sandpapierbild auf Profiler
Mikrofluidische Kanäle
Polymerbeschichtungsdaten mit optischem 3D-Mikroskop
Transparente Beschichtung
Polymerbeschichtungsdaten mit optischem 3D-Mikroskop
Polymerbeschichtung

3D-Funktionen im Sub-Nanometer-Bereich

Sie können Nanometer-Merkmale auf rauen, transparenten und glatten Oberflächen mit höchsten Z- und XY-Auflösungen analysieren. Verwenden Sie konfokale Mikroskopie und Weißlichtinterferometer auf derselben Plattform.

Wafer und Halbleiter

Mit Tischen bis 300×300 mm können Sie ganze Wafer auf Defekte, Strukturen, Stufenhöhe und Partikel analysieren. Es kann mit AFM-, Raman- und optischen Profiler-Daten für denselben Bereich kombiniert werden.

Sandpapierbild auf Profiler
Merkmale
Diamantoberflächendaten mit optischem 3D-Mikroskop
Partikel
Diamantoberflächendaten mit optischem 3D-Mikroskop
Wafer
Polymerbeschichtungsdaten mit optischem 3D-Mikroskop
Drehprobe
Polymerbeschichtungsdaten mit optischem 3D-Mikroskop
Scratch
Sandpapierbild auf Profiler
Eindringprüfung

Qualitätskontrolle

Finden Sie Risse und Defekte mit einem Klick. Automatische Berichte und Pass-Fail-Kriterienanalysen ermöglichen die Nutzung der Plattform sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die Qualitätskontrolle.

Prinzipien eines 3D-Mikroskops

Das 3D-Mikroskop beinhaltet die Charakterisierung der dreidimensionalen Oberflächentopographie durch optisches Aufnehmen mehrerer Oberflächenbilder, Zusammenfügen der Bilder in der XYZ-Achse und Quantifizieren der Daten zur Berechnung von Rauheit, Stufenhöhe, Krümmung und Defekten. All dies ist mit der herkömmlichen optischen 2D-Mikroskopie nicht möglich. Es gibt verschiedene Techniken, mit denen 2D- und 3D-Modelle von Oberflächen erstellt werden können. Einige davon werden bei unseren Produkten verwendet und sind unten aufgeführt.

Was ist die konfokale Nipkow-Bildgebung?

Die konfokale Mikroskopie ist ein berührungsloses optisches Bildgebungsverfahren, das eine höhere Auflösung und einen höheren Kontrast der Oberflächentopographie mittels Pinholes ermöglicht. Diese kleinen Löcher blockieren unscharfes Licht beim Scannen von Bildern. Dieser dreidimensionale Scan mit weißem Licht und einer konfokalen Nipkow-Scheibe erfasst große Probenbereiche mit sehr hoher Geschwindigkeit.

Was ist ein Weißlichtinterferometer?

Die Weißlichtinterferometrie ist ein berührungsloses optisches Verfahren zur Charakterisierung der Oberflächentopographie mittels Scanning-Interferometrie. Bei der Technik wird ein Lichtstrahl mit einem Strahlteiler in einen Messstrahl und einen Referenzstrahl aufgespalten. Diese Strahlen werden dann rekombiniert, um ein Interferenzmuster zu erzeugen, und dann analysiert, um 2D- und 3D-Modelle von Oberflächen zu erzeugen.

Was ist Dunkelfeld-Bildgebung?

Die Dunkelfeldmikroskopie ist eine Technik, die einen Kontrast mit höchster Auflösung in Proben erzeugt, die unter normalen Hellfeld-Bildgebungsbedingungen nicht gut abgebildet werden können. Mit speziellen Dunkelfeldobjektiven und einem dedizierten Lichtsystem wird ein dunkler Hintergrund erzeugt, der einen hohen Kontrast für Oberflächenmerkmale ermöglicht.

Was ist "Variable Focus Imaging"?

„Variable Focus Imaging“ ist eine Bildgebungstechnik, die verwendet wird, um ein vollständig fokussiertes Oberflächenbild zu erhalten. Dazu werden Bilder mit unterschiedlichen X-, Y- und Z-Werten aufgenommen, um sie zusammenzufügen, um ein vollständig fokussiertes Hellfeldbild der Oberfläche zu erstellen. Dies wird sowohl in 2D- als auch in 3D-Bildern verwendet.

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